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向戲()
普通會(huì)員
向戲 ()
s系列為真正意義上的模塊化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)探針臺(tái)，讓用戶可完全圍繞實(shí)際應(yīng)用，選擇最適合的功能配置，確保最佳成本解決方案的同時(shí)滿足用戶將來的升級(jí)需求。
s系列可定制的模塊為：載物臺(tái)及其移動(dòng)基座模塊、探針座放置平臺(tái)移動(dòng)模塊和顯微鏡及其移動(dòng)基座模塊。用戶可自行配置功能模塊的同時(shí)，還可根據(jù)自身需求增加探針卡夾具、激光器、微腔體屏蔽系統(tǒng)、半自動(dòng)控制系統(tǒng)、全自動(dòng)控制系統(tǒng)、高溫測(cè)試系等，滿足更多的應(yīng)用需求。
s系列還為用戶提供了一個(gè)高剛性和穩(wěn)定性的測(cè)試系統(tǒng)。載物臺(tái)移動(dòng)基座和探針臺(tái)底座一體化的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，顯著地提高了載物臺(tái)的結(jié)構(gòu)剛性和穩(wěn)定性。顯微鏡支撐為龍門結(jié)構(gòu)，可應(yīng)用于高放大倍率的光學(xué)系統(tǒng)，保證光學(xué)系統(tǒng)的穩(wěn)定性。探針座放置平臺(tái)采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，保證平臺(tái)板整體的垂直應(yīng)力形變?cè)?μm/10n以內(nèi)，擁有極高的穩(wěn)定性以滿足高精度探針座的定位要求。
| 技術(shù)指標(biāo) |
| 載物臺(tái)(常規(guī)晶圓載物臺(tái)） |
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| 尺寸 |
6"(152.4mm)，可選更大尺寸，如8"或12" |
| 材質(zhì) |
不銹鋼 |
| 平整度 |
≤±2.5μm |
| 真空區(qū)域* |
0，2"，4"，6"環(huán)形吸附** |
| 真空控制 |
手動(dòng)控制，獨(dú)立真空區(qū)域 |
| 真空驅(qū)動(dòng)方式 |
真空泵 |
| 載物臺(tái)電性能 |
載物臺(tái)信號(hào)導(dǎo)通，可選擇接地或接信號(hào) |
| *根據(jù)載物臺(tái)尺寸有所不同，如載物臺(tái)尺寸為12"，則真空吸附區(qū)域?yàn)?，2"，4"，6"，8"，12"。 ** 除環(huán)形吸附外，還可選微孔吸附式載物臺(tái)，以適用于厚度在50μm或以內(nèi)的晶圓。 |
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| 載物臺(tái)移動(dòng)基座 |
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| x-y軸行程范圍* |
6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可選更大行程 |
| 精度 |
1μm |
| r軸粗調(diào)角度范圍 |
360° |
| r軸細(xì)調(diào)角度范圍 |
±9° |
| 微調(diào)精度 |
0.0001°/deg |
| z軸細(xì)調(diào)行程范圍 |
13mm |
| 細(xì)調(diào)精度 |
1μm |
| z軸快升行程 |
0~6mm, 可調(diào) |
| z軸往復(fù)精度 |
<1μm |
| 載物臺(tái)快速拖出行程 |
100mm |
| *根據(jù)載物臺(tái)尺寸不同，行程有所不同，如載物臺(tái)為12"，則x-y移動(dòng)行程為12"*12"。 |
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| 探針座放置平臺(tái) |
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| 材質(zhì) |
鋼，表面沉鎳處理 |
| 平臺(tái)板尺寸* |
可放置8個(gè)cm50或4個(gè)rf50探針座 |
| 平臺(tái)板至載物臺(tái)高度 |
1.496”(38mm) |
| 探針座兼容性 |
可兼容磁力或真空吸附底座的探針座 |
| z軸細(xì)調(diào)行程范圍 |
45mm |
| z軸快升行程 |
350μm |
| z軸往復(fù)精度 |
<1μm |
| *此處為6"探針臺(tái)可放置的探針座數(shù)量，更大尺寸探針臺(tái)詳詢客服人員。
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| 顯微鏡移動(dòng)基座 |
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| x-y軸行程范圍 |
2"*2"(50mm* 50mm) |
| x-y軸精度 |
1μm |
| 調(diào)焦行程 |
2"(50mm) |
| 精度 |
1μm |
| z軸粗調(diào)行程 |
100mm |
| 氣動(dòng)升降行程 |
40mm |
| 聯(lián)系人 | 需求數(shù)量 | 時(shí)間 | 描述 |
|---|---|---|---|
| 暫無產(chǎn)品詢價(jià)記錄 | |||
| 采購(gòu)商 | 成交單價(jià)（元） | 數(shù)量 | 成交時(shí)間 |
|---|---|---|---|
| 暫無購(gòu)買記錄 | |||
地區(qū)：滄州
主營(yíng)產(chǎn)品：機(jī)床維修,鑄件,工量具地區(qū)：汕頭
主營(yíng)產(chǎn)品：物流公司,貨運(yùn)站,國(guó)內(nèi)陸運(yùn)地區(qū)：成都
主營(yíng)產(chǎn)品：聲屏障,護(hù)欄網(wǎng),石籠網(wǎng)地區(qū)：廊坊
主營(yíng)產(chǎn)品：富卓液壓,施羅德液壓,海普洛液壓
湘公網(wǎng)安備 43052302000106號(hào)