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等離子設備通常呈現(xiàn)一些相當均勻的圓柱型微通道,每一個微通道就是一個強烈的流光放電擊穿過程,帶電粒子的輸運過程及等離子體化學反應就發(fā)生在這些微放電通道內(nèi). 因此一些研究者將微放電作為碳等離子體的主要特性,并通過研究微放電的性質來研究碳等離子體的整體特性。

從碳的物理過程來看,電源電壓通過電介質電容耦合到放電間隙形成電場,空間電子在這一電場作用下獲得能量,與周圍氣體發(fā)生非彈性碰撞,電子從外加電場取得能量轉移給氣體分子，氣體被激勵后,發(fā)生電子雪崩,出現(xiàn)了相當數(shù)量的空間電荷。

電離子體聚集在雪崩頭部,形成本征電,再與外加電場疊加起來形成很高的局部電場,在新形成的局部電場作用下,雪崩中的電子得到進一步加速,使放電間隙的電子形成空間電荷的速度比電子遷移速度更快,形成了往返兩個電場波,電場波向陰極方向返回時更強,這樣一個導電通道能非�？斓赝ㄟ^放電間隙形成大量微細絲狀的脈沖流光微放電。

比知道怎么處理工業(yè)生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣嗎？要知道廢氣多數(shù)都是重工業(yè)生產(chǎn)過程中的產(chǎn)物，對于人體和環(huán)境的危害是十分嚴重。等離子設備的穩(wěn)定性不知道是不是能夠滿足工業(yè)廢氣的處理需求呢？

電離子體很均勻、漫散和穩(wěn)定,彼此孤立地隨機發(fā)生在不同地點，當微放電通道形成以后,空間電荷就在通道內(nèi)輸送累積在電介質表面產(chǎn)生反向電場而使放電熄滅,形成微放電脈沖。在一定范圍內(nèi),微放電的數(shù)量隨供電電壓及頻率的增加而增加. 可見碳介質的分布電容對于微放電的形成起著十分重要的鎮(zhèn)流作用. 一方面,由于電介質的存在,有效地限制了帶電粒子的運動,防止了放電電流的無限制增長,從而避免了在放電間隙內(nèi)形成火花放電或弧光放電;另一方面,電介質的存在可以使微放電均勻穩(wěn)定地分布在整個放電空間內(nèi)。

等離子設備是目前最有效的廢氣凈化技術，碳放電高能離子技術突破歐洲傳統(tǒng)“花冠放電”高能離子技術，采用碳作為介質放電材料，介質可以覆蓋在電極上,也可以懸掛在放電空間里，電極間的氣體就會被擊穿產(chǎn)生碳阻擋氣體放電。在大氣壓或高于大氣壓條件下,間隙內(nèi)的氣體放電由許多在時間上和空間上隨機分布的微放電構成,這些微放電的持續(xù)時間很短,一般為納秒量級。