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一、引言（學(xué)習(xí)藍(lán)寶石襯底的用意及用處）

近二十年來,氮化鎵基發(fā)光二極管取得了飛躍式發(fā)展,并實(shí)現(xiàn)了大規(guī)模的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。氮化鎵基發(fā)光二極管由于其高效、節(jié)能、環(huán)保等優(yōu)越性能,將取代現(xiàn)有_的白熾燈、熒光燈、鹵化燈等而成為主流的固態(tài)照明工具。

然而,同質(zhì)外延生長所需的高質(zhì)量gan襯底的價(jià)格昂貴且遠(yuǎn)不能滿足大規(guī)模生產(chǎn)的需求�，F(xiàn)有_的外延襯底大部分仍是藍(lán)寶石,由于藍(lán)寶石與gan材料存在晶各失配和熱失陪等缺點(diǎn),這阻礙了gan晶體質(zhì)量的提高,從而導(dǎo)致了gan的發(fā)光器件性能的進(jìn)一步提高。大量研究表明,圖形化藍(lán)寶石襯底有_利于降低晶體的位錯(cuò)密度和應(yīng)力釋放,從而大大改善gan晶體的質(zhì)量和gan的發(fā)光器件性能。

二、藍(lán)寶石襯底的常規(guī)清洗方法

在正常的室溫下,有_機(jī)_溶_劑 _超聲清洗,以及加熱條件下,丙酮 浸泡。

實(shí)施本發(fā)明的藍(lán)寶石襯底清洗方法,取消了傳統(tǒng)清洗方法中使用的三氯 乙烯試劑 _,減少了環(huán)境污染,避免人員中毒,在清洗過程中,使用超聲波和加熱清洗,可節(jié)省清洗時(shí)間,提高清洗效率和質(zhì)量。工藝簡單、操作方便,滿足環(huán)保要求。

然而,使用超聲波清洗機(jī)_清洗藍(lán)寶石襯底,是利用了超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進(jìn)流作用對液體和污物直接、間接的作用,使污物層被分散、乳化、剝離而達(dá)到清洗目的。

三、藍(lán)寶石襯底清洗用超聲波設(shè)備類型中的光學(xué)超聲波清洗機(jī)_

深圳威固特vgt-1403fh為光學(xué)超聲波清洗機(jī)_,設(shè)備共有_14個(gè)功能槽,配置有_循環(huán)過濾系統(tǒng)、有_機(jī)_溶_劑 _蒸餾回收系統(tǒng)、自動(dòng)恒溫系統(tǒng)、拋動(dòng)系統(tǒng)、超聲波清洗系統(tǒng)、抽風(fēng)裝置、環(huán)保液前處理系統(tǒng)、慢拉脫水、熱風(fēng)烘干等。設(shè)備采用環(huán)保型有_機(jī)_溶_劑 _洗滌、水溶_劑 _洗滌、純水漂洗、離心烘干為環(huán)保型清洗機(jī)_。是藍(lán)寶石襯底在清洗設(shè)備上值得首要考慮的。

四、深圳威固特vgt-1403fh光學(xué)超聲波清洗機(jī)_的小部分結(jié)構(gòu)配置是這此需了解的

熱風(fēng)烘干槽：

結(jié)構(gòu)：每個(gè)烘干槽配置一套氣缸

加熱系統(tǒng)結(jié)構(gòu)：

1、外置式不銹鋼加熱箱；

2、內(nèi)設(shè)不銹鋼加熱管,功率12kw,配omron數(shù)顯式溫控系統(tǒng),監(jiān)控箱內(nèi)熱風(fēng)溫度,溫控范圍：～120℃。

ffu壓風(fēng)系統(tǒng)：

結(jié)構(gòu)：在烘干槽正上方的機(jī)_架頂部設(shè)置一個(gè)ffu層流送風(fēng)單元。由上往下吹風(fēng)形成負(fù)壓風(fēng),致使工件加熱后附著物不易粘附。

功能：因慢拉槽液溫較高,如無頂部的ffu壓風(fēng),大量的水汽將往上騰,水氣會(huì)再次附著于提出的藍(lán)寶石襯底上；安 裝ffu后,可在上方形成局部正壓,大部分水氣從缸面的抽氣口抽走。

其實(shí),也有_很多對干凈后的藍(lán)寶石襯底樣品選擇進(jìn)行旋轉(zhuǎn)吹干處理。深圳威固特的甩干機(jī)_的基本工藝操作流程簡單概述下：

開機(jī)_—參數(shù)設(shè)置—裝入樣品—啟動(dòng),執(zhí)行工藝流程—啟動(dòng),執(zhí)行工藝流程—過程結(jié)束,取出樣品。