氯 化氫氣體為強刺激性、不燃?xì)怏w、溶水后有強烈腐蝕性 . 產(chǎn)品包裝于高壓專用鋼瓶中、處于液態(tài) . 專用鋼瓶為鋼質(zhì)無縫氣瓶、瓶內(nèi)拋光處理 . 瓶閥為抗腐蝕不銹鋼隔膜閥 . 鋼瓶設(shè)計壓力為12.5Mpa,工作壓力約5-6Mpa .
電子級(VLSI)氯 化氫產(chǎn)品生產(chǎn)裝置于2003年投產(chǎn)、經(jīng)北京市科委鑒定、主要用于半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中單晶硅片的氣相拋光、外延基座腐蝕及硬質(zhì)合金制造 . 5.0N電子級(VLSI)氯 化氫產(chǎn)品分別經(jīng)國家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)研究中心和信息產(chǎn)業(yè)部專用材料質(zhì)量監(jiān)督檢驗中心抽樣檢驗、純度大于99.999%、總雜質(zhì)含量小于5ppm、產(chǎn)品性能指標(biāo)與國 際品牌相當(dāng) . 5.0N電子級(VLSI)氯 化氫產(chǎn)品經(jīng)國內(nèi)外多家半導(dǎo)體重點企業(yè)連續(xù)大量在單晶硅片氣相拋光和外延基座腐蝕工藝中廣泛使用、制得的器件產(chǎn)品質(zhì)量與國際知名品牌相當(dāng) .
氯 化氫產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝為本公司專利技術(shù)、具有自主知識產(chǎn)權(quán)、填補了國內(nèi)高純氯 化氫產(chǎn)品生產(chǎn)空白 . 氯 化氫產(chǎn)品參照SEMIC3.35-1101HCl標(biāo)準(zhǔn)、并執(zhí)行國家標(biāo)準(zhǔn)GB/T24469-2009(電子級)和企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)Q/ZWDL001-2006(化學(xué)級) . 氯 化氫產(chǎn)品采用HCl專用鋼瓶包裝、鋼瓶符合國標(biāo)GB5099-1994或DOT3AA標(biāo)準(zhǔn)、瓶閥為316L不銹鋼隔膜式閥、接口為CGA330 . 本公司提供氯 化氫專用配套設(shè)施、設(shè)備、閥門、減壓器、并提供優(yōu)質(zhì)技術(shù)服務(wù)和售后服務(wù) . 本公司具有完備的氯 化氫專用鋼瓶脫水設(shè)備和技術(shù)、為客戶提供鋼瓶處理和維修服務(wù) .
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